具体测试对象:
半导体发光二极管(LED)外延片及芯片、激光二极管(LD)结构
有机发光二极管(OLED)半导体层、量子阱及超晶格电致发光结构
二维半导体发光器件、微型LED阵列、硅基光电子发光单元、功率器件反向击穿发光点等
原理:在半导体器件正偏压下注入少数载流子,载流子在结区或量子阱中辐射复合产生光子。收集发射光强随波长或能量的分布,获得电致发光光谱。发光峰位对应材料带隙或量子能级,强度反映注入载流子的辐射复合效率。
作用:非破坏性评估半导体发光器件的光谱纯度、峰值波长及半高宽。可分析量子阱的阱宽波动与组分均匀性;通过光谱随注入电流的演变判断能带填充效应、发热效应及缺陷相关发光;定位LED芯片失效区域的漏电发光缺陷,为器件工艺诊断和分选提供依据。
样品需具备可电注入的PN结或异质结构,电极引出良好,结区无短路。测试电流须控制在器件额定工作范围内,避免过大注入导致结温过高或烧毁。背面衬底若透光,需考虑衬底吸收对短波长发光的衰减。器件表面须清洁,发光面朝向收集光路,点测时光斑应覆盖发光区域。
3.1干涉效应引起的周期性调制。
透明衬底或外延层形成的微腔结构使发射光谱叠加Fabry-Perot干涉条纹,对窄线宽量子阱发光尤为显著。这些调制峰容易被误认为子能级或声子伴线。可采取背面粗糙化、斜边解理面收集或积分球收集等方式破坏相干干涉,或在数据处理中去卷积扣除。
3.2背景光与杂散电注入干扰。
探针台照明光、环境光或电流注入引线上的寄生电致发光叠加在样品信号上,尤其在对暗区或微弱发光点成像时干扰严重。须在完全遮光条件下测量,使用屏蔽线缆并对照无样品情况下的本底光谱予以扣除。同时电流源纹波或静电放电可能产生虚假光脉冲,需滤波和接地防护。

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